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等離子表面刻蝕常用四氟化碳?

返回列表 來源:普樂斯 瀏覽: 發(fā)布日期:2019-09-02 10:42【
文章導(dǎo)讀:等離子表面刻蝕是等離子清洗機的一大功能,那么等離子清洗機實現(xiàn)刻蝕功能通常會用什么氣體?
等離子清洗機的功能主要包括清洗、活化、接枝(沉積)及刻蝕,實現(xiàn)這些功能除對放電方式和電極結(jié)構(gòu)有要求外,工藝氣體的選擇也是非常重要的,特別是等離子表面刻蝕功能。四氟化碳是實現(xiàn)刻蝕功能的一種常規(guī)氣體。
等離子表面處理設(shè)備-普樂斯等離子清洗機
一、等離子刻蝕為什么常用四氟化碳
刻蝕通常又會被稱為蝕刻、咬蝕、凹蝕等,刻蝕作用是利用典型的氣體組合形成具有強烈蝕刻性的氣相等離子體與物體表面的有機物基體發(fā)生化學反應(yīng),生成其他比如CO,CO2,H2O等氣體,從而達到蝕刻的目的。
實現(xiàn)刻蝕所使用的氣體大多為含氟氣體,應(yīng)用zui多的是四氟化碳。四氟化碳是一種無色無味的氣體,無毒、不燃,但在高濃度時具有麻醉作用,所以在工業(yè)應(yīng)用時儲存的容器為專用高壓氣瓶,所使用的減壓閥也為專用減壓閥。
等離子表面處理設(shè)備-普樂斯等離子清洗機
二、放電顏色及行業(yè)應(yīng)用
真空等離子清洗機電離四氟化碳氣體產(chǎn)生的等離子體顏色為白色,肉眼觀察類似于稀薄的白色霧氣,辨識度很高,很容易與其他氣體區(qū)分。
等離子表面刻蝕四氟化碳放電-普樂斯等離子清洗機
四氟化碳在被等離子清洗機電離后會產(chǎn)生含氫氟酸成分的刻蝕性氣相等離子體,能夠?qū)Ω鞣N有機表面實現(xiàn)刻蝕及有機物去除,在晶圓制造、線路板制造、太陽能電池板制造等行業(yè)中被廣泛應(yīng)用。

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