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等離子清洗機為什么不放電?趕快查查匹配器

返回列表 來源:昆山普樂斯 瀏覽: 發(fā)布日期:2018-08-11 20:44【
文章導(dǎo)讀:射頻等離子清洗機核心部件就是射頻電源和匹配器,可能會遇到電源啟動正常而腔體不放電的情況,那是因為匹配器工作不正常,今天普樂斯小伙伴給大家分享一些關(guān)于匹配器的小知識供大家參考:
1、匹配器故障說明

1-1空氣電容損壞

故障原因:空氣電容在運行過程中摩擦產(chǎn)生導(dǎo)電雜質(zhì),造成局部短路;摩擦導(dǎo)致動片軸損壞,無法正常調(diào)節(jié)。
空氣電容


1-2進口晶體管故障

故障原因:與空氣電容動片軸損壞有關(guān),空氣電容無法正常工作,射頻輸出阻抗無法調(diào)節(jié),導(dǎo)致晶體管擊穿;在使用過程中,匹配器初始值調(diào)節(jié)不當(dāng),匹配時間過長或真空腔體內(nèi)輝光放電不穩(wěn)定也會造成晶體管損壞。

進品晶體管

2、匹配器日常使用注意事項

2-1定期對真空腔體內(nèi)的插針公母頭進行檢查,防止有嚴重氧化及斷裂現(xiàn)象。
2-2確認電極板擺放正確,無順序錯誤;在使用過程中如需調(diào)節(jié)極板數(shù)量及間距,必須確認匹配器自動匹配狀態(tài),如匹配時間較長,則需調(diào)節(jié)初始值。
2-3定期確認匹配器的初始值,長時間使用可能會出現(xiàn)初始值偏移的狀況,需要定期確認并根據(jù)實際情況調(diào)整。
2-4如出現(xiàn)初始值嚴重偏移,則需確認匹配器內(nèi)部和空氣電容葉片是否錯位及是否有打火現(xiàn)象,如出現(xiàn)此類情況,需及時處理。空氣電容的固定葉片及動片在調(diào)到zui大時是基本重合的;如出現(xiàn)打火現(xiàn)象,確認葉片有無燒壞,如燒壞可將燒壞位置打磨后再使用,葉片之間的距離太近也會出現(xiàn)打火現(xiàn)象。
2-5如出現(xiàn)電容無法調(diào)節(jié)的情況,可打開匹配器,手動控制調(diào)節(jié)電容,確認葉片電容能否正常旋轉(zhuǎn)。需留意電機與空氣電容的傳動部分是否有無法轉(zhuǎn)動的情況,出現(xiàn)卡死需及時報修,如出現(xiàn)齒輪與軸之間打滑,可先自行處理。
 
3、其他事項

3-1匹配器是可長時間運行工作的,平時需注意觀察及清潔。定期對匹配內(nèi)部空氣電容區(qū)域進行檢查,打開蓋板查看是否有空氣電容摩擦產(chǎn)生的雜質(zhì)沉積,如有則需用無塵布+酒精的方法清潔,因雜質(zhì)通常為導(dǎo)電物質(zhì)不可用氣吹,以免出現(xiàn)打火及控制部分短路。
 
3-2當(dāng)匹配器出現(xiàn)無法正常工作時,需及時確認電極板擺放、插針公母頭、屏弊盒內(nèi)連接(是否有接觸不良或?qū)щ娖c外壁接觸和距離過近)、匹配器初始值、內(nèi)部是否清潔、空氣電容是否錯位和打火、空氣電容能否轉(zhuǎn)動(是否有打滑)、傳動電機是否能夠工作、RF電源是否有輸出以及各連接段是否短路等情況。如匹配器內(nèi)有燒焦的味道和以上問題無法解決,請及時與專業(yè)人員聯(lián)系。
 
3-3匹配器內(nèi)部配件的使用周期是無法具體確認的,這與使用環(huán)境、處理產(chǎn)品、使用是否得當(dāng)?shù)染嘘P(guān)系,主要原因可能是匹配器內(nèi)雜質(zhì)造成了短路或打火。
 
以上關(guān)于射頻電源匹配器的故障排除和維護方法介紹對您有什么幫助嗎?您有什么異議或更好的知識點嗎?歡迎大家留言與我們交流和分享。
 
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