真空等離子清洗設備（CCP式）電極饋入的方式有哪些？

來源：昆山普樂斯瀏覽：次發(fā)布日期：2018-08-11 20:48【大中小】

文章導讀：CCP?容性耦合等離子體 (capacitively coupled plasma)是目前國內(nèi)常見的真空等離子清洗設備電極放電形式，有些愛學習的小伙伴想了解一下電極饋入方式，普樂斯的技術人員給大家簡單介紹如下，僅供參考：

真空等離子清洗設備CCP容性耦合等離子體放電使用的電極饋入方式常見的有兩類：

1、第1類是通過定制的銅棒+聚四氟乙烯絕緣件配合饋入到腔體內(nèi)，在腔體內(nèi)銅棒與連接排連接在一起。真空等離子清洗設備電極板上也安裝相應的連接件。連接方式可以是插針公母頭連接、銅片+彈片配合連接以及連接排與電極板通過銅帶利用螺絲鎖定連接。下圖為常用的插針公母頭連接的示意，其他連接只是在腔體內(nèi)部有區(qū)別。


真空等離子清洗設備電極設計圖	真空等離子清洗設備電極實物圖

2、另外一類是在真空等離子清洗設備電極板上焊接連接棒，通過定制的絕緣套與焊接的連接棒配合，連接至腔體外；在腔體外再用導電排連接在一起，然后與等離子發(fā)生器的輸出連接在一起。這一類主要是用于水冷電極結構連接，如是水冷電極結構那么焊接的連接棒為中空結構，這樣就可以中通水、連接棒外接射頻。具體結構需根客戶要求而定。下圖為連接示意（僅為示意圖，實際結構會有所區(qū)別）。


真空等離子清洗設備電極設計圖	真空等離子清洗設備電極實物圖

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