等離子清洗機(jī)的激發(fā)頻率不同，會有何不同？
文章導(dǎo)讀：說到等離子清洗機(jī)的激發(fā)頻率，通常有三種不一樣的類型，按激發(fā)頻率的大小區(qū)分分別是40KHz、13.56MHz、2.45GHz，也就是我們常說的中頻等離子清洗機(jī)、射頻等離子清洗機(jī)和微波等離子清洗機(jī)，激發(fā)頻率不同，主要是由于配置的電源發(fā)生頻率的差異引起的。那么等離子清洗機(jī)的激發(fā)頻率不同，究竟會有哪些不同呢？
說到等離子清洗機(jī)的激發(fā)頻率，通常有三種不一樣的類型，按激發(fā)頻率的大小區(qū)分分別是40KHz、13.56MHz、2.45GHz，也就是我們常說的中頻等離子清洗機(jī)、射頻等離子清洗機(jī)和微波等離子清洗機(jī)，激發(fā)頻率不同，主要是由于配置的電源發(fā)生頻率的差異引起的。那么等離子清洗機(jī)的激發(fā)頻率不同，究竟會有哪些不同呢？接下來我們接著來看。
首先談?wù)勚蓄l等離子清洗機(jī)的放電，由于中頻電源直接輸出到電極板的電壓較高，其自偏壓較高，產(chǎn)生的負(fù)自偏壓引起了正離子的功率吸收，這也會直接引起電極板的溫度升高；同時由于在這過程中，離子會吸收部分的功率，因此用于電離的電子的功率吸收就與相應(yīng)的減少了，從而造成等離子體密度的較低和離子的能量較高，工藝處理溫度也會稍高。
與中頻等離子體清洗機(jī)不同的是，射頻等離子清洗機(jī)在射頻容性耦合方式的放電過程中，電極板產(chǎn)生的自偏壓受到放電氣壓的影響，自偏壓較小，電子的功率吸收主要來自于與電極板表面的振蕩鞘層相互作用。因此，射頻等離子清洗設(shè)備的激發(fā)頻率越高，電子的功率吸收也會相對越高，相應(yīng)的離子轟擊的能量就會降低。
而說到微波等離子清洗機(jī)放電，這種清洗沒有自偏壓，離子濃度高，離子能量低，主要有兩種方式，即表面波型和電子回旋共振型，前者一般用于商業(yè)清洗，是通過輻射微波電磁場直接將氣體擊穿實現(xiàn)放電，其中并沒有離子的加速作用，其電子密度較高，但通常要求放電氣壓高，從而會引起等離子體局域化比較嚴(yán)重的情況，不利于縱深清洗和多層面的大尺度的清洗處理，此外，微波等離子清洗機(jī)也不適合對一些精密的電子元器件進(jìn)行處理。
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