真空等離子表面清洗機(jī)的濺射現(xiàn)象會(huì)對(duì)產(chǎn)品有什么影響？
文章導(dǎo)讀：當(dāng)使用容性耦合放電的真空低壓等離子表面清洗機(jī)對(duì)材料進(jìn)行等離子表面處理時(shí)，只要選用的氣體是惰性氣體，就會(huì)發(fā)生一定的濺射現(xiàn)象，這與直流輝光放電還是交流高頻放電其實(shí)并沒有關(guān)系，那么濺射現(xiàn)象對(duì)等離子清洗機(jī)所處理的產(chǎn)品會(huì)有影響嗎？
當(dāng)使用容性耦合放電的真空低壓等離子表面清洗機(jī)對(duì)材料進(jìn)行等離子表面處理時(shí)，只要選用的氣體是惰性氣體，就會(huì)發(fā)生一定的濺射現(xiàn)象，這與直流輝光放電還是交流高頻放電其實(shí)并沒有關(guān)系，那么濺射現(xiàn)象對(duì)等離子清洗機(jī)所處理的產(chǎn)品會(huì)有影響嗎？
真空等離子表面處理機(jī)所產(chǎn)生的濺射現(xiàn)象一般較為微弱，而微弱的濺射現(xiàn)象對(duì)普通的產(chǎn)品或材料而言，并不會(huì)對(duì)材料的基體特性產(chǎn)生影響，但如果所處理的產(chǎn)品對(duì)處理要求較為嚴(yán)格，如醫(yī)用相關(guān)產(chǎn)品，就會(huì)對(duì)濺射現(xiàn)象的程度有所要求，一般為濺射越少越微弱是越好的。
我們接著從真空低壓等離子清洗機(jī)的電極結(jié)構(gòu)來先了解一下濺射，容性耦合的射頻真空等離子表面處理設(shè)備，基本都會(huì)使用鋁合金作為電極，這是主要是考慮到鋁自身良好的散熱性能和對(duì)等離子體的耐候性，而即便是鋁，在長(zhǎng)期的等離子轟擊下，電極表面仍會(huì)有鋁原子逃逸出來。
也正因?yàn)樯漕l濺射會(huì)將金屬粒子轟擊出來，而被轟擊出來的這部分金屬粒子可能會(huì)附在產(chǎn)品的表面造成污染，進(jìn)而影響產(chǎn)品，如醫(yī)用高分子材料表面附著金屬原子，會(huì)對(duì)人體造成安全隱患；半導(dǎo)體引線框架則會(huì)因?yàn)榻饘俚淖⑷耄绊懫浯蚓€的質(zhì)量……
因此，為減少乃至避免射頻濺現(xiàn)象，那么就需要對(duì)低壓真空等離子清洗機(jī)的腔體結(jié)構(gòu)、電極板冷卻、工藝參數(shù)等方面進(jìn)行調(diào)整和優(yōu)化，關(guān)于這部分的內(nèi)容，我們之后再進(jìn)行探討。下圖為電極板帶水冷的射頻低壓真空低壓等離子清洗機(jī)放電狀態(tài)。
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