真空等離子處理機(jī)的三種真空泵組
文章導(dǎo)讀：當(dāng)真空等離子處理機(jī)的腔體較大，為保證抽真空速度，我們會(huì)選用真空泵組。常見(jiàn)的有三種泵組組合方式，接下來(lái)就為大家逐一介紹。
真空等離子處理機(jī)的真空泵組一般分為三種，第一種是旋片式真空泵加上羅茨泵組成的油式泵組；第二種是干式螺桿真空泵加上羅茨泵組合成的干式泵組；第三種是機(jī)械泵加上分子泵組成的一款特別的分子泵組。這三種泵組分別有哪些優(yōu)點(diǎn)？又有哪些選擇的注意事項(xiàng)呢？普樂(lè)斯為大家逐一來(lái)介紹一下。
一、油式泵組
這種泵組是我們真空等離子處理機(jī)中zui為常見(jiàn)的一種泵組，它是由旋片式真空泵作為底泵，外加羅茨泵作為次級(jí)泵組合而成的泵組。油式泵組一般運(yùn)用于對(duì)潔凈度要求不是很高，且腔體較大的真空等離子處理機(jī)上。其優(yōu)點(diǎn)有很多：首先，能夠大幅度加大抽速，減少抽真空的時(shí)間；其次，結(jié)構(gòu)較為簡(jiǎn)單，維護(hù)方便；還有，性價(jià)比較高，具有價(jià)格優(yōu)勢(shì)。
干式泵組作為一款性能優(yōu)越的泵組，它的優(yōu)點(diǎn)還真不少：首先，潔凈度高，避免了油污染；其次，抽真空速度快，提高了工作效率；然后，工作時(shí)性能穩(wěn)定，聲音低；還有，對(duì)工作環(huán)境的要求低，能應(yīng)對(duì)各種惡劣的工作環(huán)境。
一、油式泵組
這種泵組是我們真空等離子處理機(jī)中zui為常見(jiàn)的一種泵組，它是由旋片式真空泵作為底泵，外加羅茨泵作為次級(jí)泵組合而成的泵組。油式泵組一般運(yùn)用于對(duì)潔凈度要求不是很高，且腔體較大的真空等離子處理機(jī)上。其優(yōu)點(diǎn)有很多：首先，能夠大幅度加大抽速，減少抽真空的時(shí)間；其次，結(jié)構(gòu)較為簡(jiǎn)單，維護(hù)方便；還有，性價(jià)比較高，具有價(jià)格優(yōu)勢(shì)。
二、干式泵組
這種泵組是將干式螺桿真空泵作為底泵，羅茨泵作為次級(jí)泵組合成的泵組。因?yàn)槎际怯筛墒秸婵毡媒M合而成的，所以不會(huì)出現(xiàn)油污染，潔凈度相較于油式泵組更高一些。干式泵組一般運(yùn)用于生物醫(yī)療領(lǐng)域、半導(dǎo)體領(lǐng)域以及航天航空領(lǐng)域等潔凈度要求較高的行業(yè)。干式泵組作為一款性能優(yōu)越的泵組，它的優(yōu)點(diǎn)還真不少：首先，潔凈度高，避免了油污染；其次，抽真空速度快，提高了工作效率；然后，工作時(shí)性能穩(wěn)定，聲音低；還有，對(duì)工作環(huán)境的要求低，能應(yīng)對(duì)各種惡劣的工作環(huán)境。
三、分子泵組
使用分子泵組能夠形成清潔的超高真空環(huán)境，所以分子泵組一般是運(yùn)用在鍍膜機(jī)、刻蝕機(jī)等對(duì)真空環(huán)境要求高的設(shè)備上。分子泵組這么厲害，那它又有哪些優(yōu)點(diǎn)呢？首先，分子泵組啟動(dòng)快，而且抽速非?？欤黄浯危肿颖媒M是不使用油的，不會(huì)產(chǎn)生油污染；還有，維護(hù)簡(jiǎn)單。
使用分子泵組能夠形成清潔的超高真空環(huán)境，所以分子泵組一般是運(yùn)用在鍍膜機(jī)、刻蝕機(jī)等對(duì)真空環(huán)境要求高的設(shè)備上。分子泵組這么厲害，那它又有哪些優(yōu)點(diǎn)呢？首先，分子泵組啟動(dòng)快，而且抽速非?？欤黄浯危肿颖媒M是不使用油的，不會(huì)產(chǎn)生油污染；還有，維護(hù)簡(jiǎn)單。
以上就是真空等離子處理機(jī)所使用的三種真空泵組的介紹、優(yōu)點(diǎn)以及適用的工作環(huán)境，如果您想要了解更多關(guān)于產(chǎn)品的詳細(xì)內(nèi)容或在設(shè)備使用中有疑問(wèn)，歡迎點(diǎn)擊普樂(lè)斯的在線客服進(jìn)行咨詢，或者直接撥打全國(guó)統(tǒng)一服務(wù)熱線400-816-9009，普樂(lè)斯恭候您的來(lái)電！
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