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普樂(lè)斯15年專(zhuān)注等離子清洗機(jī)研制低溫等離子表面處理系統(tǒng)方案解決商

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半導(dǎo)體行業(yè)動(dòng)態(tài),中微擬定投資上海睿勵(lì)

返回列表 來(lái)源:普樂(lè)斯 瀏覽: 發(fā)布日期:2019-08-22 14:01【
文章導(dǎo)讀:8月21日,中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司(以下簡(jiǎn)稱(chēng)“中微半導(dǎo)體”)發(fā)布公告稱(chēng),擬對(duì)睿勵(lì)科學(xué)儀器(上海)有限公司(以下簡(jiǎn)稱(chēng)“上海睿勵(lì)”)進(jìn)行投資,金額為1375萬(wàn)元,投資完成后中微半導(dǎo)體持股上海睿勵(lì)股權(quán)比例約為10.41%。
資料顯示,上海睿勵(lì)是國(guó)內(nèi)集成電路工藝檢測(cè)設(shè)備供應(yīng)商,目前擁有的主要產(chǎn)品包括光學(xué)檢測(cè)設(shè)備、硅片厚度及翹曲測(cè)量設(shè)備及子公司宏觀缺陷檢測(cè)設(shè)備等。其自主研發(fā)的12英寸光學(xué)測(cè)量設(shè)備TFX3000系列產(chǎn)品,已應(yīng)用在28納米芯片生產(chǎn)線并在進(jìn)行14納米工藝驗(yàn)證,在3D存儲(chǔ)芯片上達(dá)到64層的檢測(cè)能力。

中微半導(dǎo)體擬定投資上海睿勵(lì)-普樂(lè)斯等離子清洗機(jī)

目前,上海睿勵(lì)的產(chǎn)品已成功進(jìn)入世界領(lǐng)xian芯片客戶3D閃存芯片生產(chǎn)線,并取得7臺(tái)次重復(fù)訂單,是目前進(jìn)入該國(guó)ji領(lǐng)xian芯片生產(chǎn)企業(yè)唯yi的國(guó)產(chǎn)集成電路設(shè)備產(chǎn)品。

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此前,通過(guò)投資國(guó)內(nèi)薄膜設(shè)備公司沈陽(yáng)拓荊科技有限公司,中微半導(dǎo)體在集成電路薄膜設(shè)備領(lǐng)域進(jìn)行了布局,中微半導(dǎo)體指出,此次投資上海睿勵(lì),是公司聚焦并落實(shí)高端芯片設(shè)備戰(zhàn)略的又一步驟,將進(jìn)一步形成產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同效應(yīng)。

本文來(lái)源:全球半導(dǎo)體觀察
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    1)能有效去除大于3μm的顆粒
    2)不需要高純水和化學(xué)藥劑等,同時(shí)不需要后續(xù)烘干工藝
    3)設(shè)備維護(hù)簡(jiǎn)單,只需進(jìn)行簡(jiǎn)單的清洗和更換
    4)沿噴嘴線性均衡的超聲波使得工件橫向清洗性能保持一致
    5)非接觸式的清洗方式避免損壞工
    6)閉環(huán)系統(tǒng)不會(huì)破壞生產(chǎn)車(chē)間(潔凈室)的氣流平衡

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    真空等離子清洗機(jī)作為一種高效、無(wú)介質(zhì)的表面處理設(shè)備,具有廣泛的應(yīng)用前景。其工作原理基于等離子體在真空環(huán)境中產(chǎn)生的化學(xué)反應(yīng)和物理效應(yīng),具有高效清洗、無(wú)介質(zhì)清洗、可選擇性清洗、表面改性和自動(dòng)化操作等優(yōu)勢(shì)。

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    產(chǎn)品名稱(chēng):實(shí)驗(yàn)型等離子清洗機(jī) 小型真空等離子處理設(shè)備PLAUX-PR-10L

    ‌高效徹底‌:能夠深入微納米級(jí)孔隙中,徹底清除難以觸及的污染物。

    ‌環(huán)保節(jié)能‌:無(wú)需使用化學(xué)溶劑,減少?gòu)U水廢氣排放,符合綠色生產(chǎn)要求,且能耗低。

    ‌廣泛適用‌:適用于多種材料表面,包括金屬、陶瓷、玻璃、塑料等,不會(huì)對(duì)材料性能產(chǎn)生負(fù)面影響。

    ‌工藝可控‌:通過(guò)調(diào)整工作氣體種類(lèi)、壓力、功率等參數(shù),可精確控制清洗過(guò)程‌。


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    在材料及產(chǎn)品生產(chǎn)、加工、轉(zhuǎn)運(yùn)的過(guò)程中,材料表面由于存在靜電,表面會(huì)自帶或吸附微塵,影響成品質(zhì)量。隨著各行業(yè)表面潔 凈度要求不斷提高,對(duì)微小雜質(zhì)和粉塵的去除愈加重要。非接觸表面清潔有無(wú)接觸、設(shè)備小、成本低、耗材少、易實(shí)施等優(yōu)點(diǎn),近年 來(lái)在各個(gè)行業(yè)均有較快的發(fā)展。

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