等離子清洗機(jī)觀(guān)察,硅晶圓將用于硅電池制作
文章導(dǎo)讀：鋰電池中常見(jiàn)的應(yīng)該算鋰離子電池，在我們?nèi)粘Ｉ钪械谋銛y式電器如手提電腦、攝像機(jī)、移動(dòng)通訊中得到普遍應(yīng)用。目前硅電池也在開(kāi)發(fā)和研制，預(yù)計(jì)會(huì)先在手機(jī)電池上進(jìn)行應(yīng)用。
現(xiàn)在，咱們手持的智能手機(jī)基本都是運(yùn)用的鋰電池，電池技能也是如今智能科技需求突破的難點(diǎn)之一，據(jù)外媒報(bào)道稱(chēng)，一家名叫XNRGI的初創(chuàng)公司希望打破這種局面，計(jì)劃明年量產(chǎn)“多孔”硅電池，它比傳統(tǒng)鋰離子電池有更好的能量密度和更低的制造成本，并且使用起來(lái)也更安全。此外，這家公司運(yùn)用類(lèi)似于半導(dǎo)體公司打造處理器的方法用晶圓來(lái)制造硅電池。普樂(lè)斯的等離子清洗機(jī)在晶圓清洗和光刻膠去除上使用較多，對(duì)這種用硅晶圓來(lái)制造電池的方法也很感興趣。
XNRGI公司在硅電池的項(xiàng)目上的研發(fā)已經(jīng)長(zhǎng)達(dá)15年的時(shí)間，其能量密度是鋰離子電池的四倍，成本僅為其一半，而他們的“多孔”硅電池可以用于不少場(chǎng)景，比如智能手機(jī)等不少智能終端上。其制作的原理是在將十分細(xì)密的20×20微米蜂窩狀圖畫(huà)蝕刻到這些晶片中之后，它們用鋰和其他金屬涂覆它們以形成所謂的“微電池”的陽(yáng)極和陰極，每12英寸硅晶圓容納3600萬(wàn)個(gè)這些垂直微電池（能量密度超越400Wh/kg），形成一個(gè)宏電池，由于其非正統(tǒng)的架構(gòu)，具有更快的充電優(yōu)勢(shì)。
XNRGI的電池是可回收的，而且不像傳統(tǒng)的鋰離子電池那樣容易受到熱失控的影響。<span font-size:16px;"="">它們的能量密度超越400 Wh / kg，使其制作成本更低，因此是電動(dòng)汽車(chē)和電網(wǎng)存儲(chǔ)的理想挑選。
本文來(lái)源：OFweek鋰電
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