等離子清洗機(jī)行業(yè)中所說的朗繆爾探針法是什么？
文章導(dǎo)讀：對等離子清洗機(jī)有過一定了解的，相信都知道，等離子體的參數(shù)不同，對產(chǎn)品和材料的處理效果會(huì)有很大不同。那么對等離子體參數(shù)的測量和診斷，對真空或大氣型的等離子清洗機(jī)設(shè)備均具有重要意義。行業(yè)內(nèi)所說的朗繆爾探針實(shí)際上就是一種等離子體診斷的工具，今天普樂斯就來與大家探討與介紹這一常用的等離子體診斷方式。
對等離子清洗機(jī)有過一定了解的，相信都知道，等離子體的參數(shù)不同，對產(chǎn)品和材料的處理效果會(huì)有很大不同。那么對等離子體參數(shù)的測量和診斷，對真空或大氣型的等離子清洗機(jī)設(shè)備均具有重要意義。行業(yè)內(nèi)所說的朗繆爾探針實(shí)際上就是一種等離子體診斷的工具，今天普樂斯就來與大家探討與介紹這一常用的等離子體診斷方式。
朗繆爾探針其實(shí)是一種靜電探針，它發(fā)明時(shí)間較早，且診斷方法也比較容易理解，因此現(xiàn)如今仍在沿用，比較具有代表性，這種靜電探針方式是通過將一根金屬探針插入到等離子體當(dāng)中，并且在探針上施加正或負(fù)的偏置電壓，從而來收集電子或離子電流。跟其他任一電極相同，探針的周邊會(huì)產(chǎn)生一個(gè)鞘層，而且其面積通常是很小的，因而，在某些適當(dāng)?shù)臈l件下，探針法只對等離子體產(chǎn)生很小的局域干擾。下面的圖片表示出一個(gè)探針的電壓和電流的定義。
在具體的診斷過程中，探針相對于地的偏置電壓為VB,而此時(shí)等離子體跟地相對的電位為φp。當(dāng)探針電壓Vb=φp時(shí)，探針處于跟等離子體一致的電位，此時(shí)它收集到的電流主要來自易動(dòng)的電子。當(dāng)增加Vb并使其超過φp時(shí)，電流將趨于飽和而達(dá)到電子飽和電流值，但電流也會(huì)因探針有效收集面積的增加而隨電壓增加，這跟探針的幾何形狀有一定關(guān)系。不過當(dāng)探針電壓發(fā)生變化，它的有效收集面積也會(huì)有一定改變，進(jìn)而導(dǎo)致離子飽和電流的改變。當(dāng)然由于離子的質(zhì)量遠(yuǎn)大于電子，所以離子飽和電流遠(yuǎn)小于電子飽和電流。變化規(guī)律正如下圖典型的探針電壓-電流特征曲線所示。
普樂斯電子9年專注研制等離子清洗機(jī)，等離子表面處理設(shè)備，已通過ISO9001質(zhì)量體系和歐盟CE認(rèn)證，為電子、半導(dǎo)體、汽車、yi療等領(lǐng)域的客戶提供清洗，活化，刻蝕，涂覆的等離子表面處理解決方案，是行業(yè)內(nèi)值得信賴的等離子清洗機(jī)廠家。如果您想要了解更多關(guān)于產(chǎn)品的詳細(xì)內(nèi)容或在設(shè)備使用中有疑問，歡迎點(diǎn)擊普樂斯的在線客服進(jìn)行咨詢，或者直接撥打全國統(tǒng)一服務(wù)熱線400-816-9009，普樂斯恭候您的來電！
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