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等離子清洗機(jī)阻抗匹配的工作原理是怎樣的？有哪些知識(shí)點(diǎn)？

返回列表 來源：普樂斯 瀏覽：次 發(fā)布日期：2021-01-19 09:52【大 中 小】
文章導(dǎo)讀：在昨天的文章中，普樂斯向大家介紹了等離子清洗機(jī)的阻抗匹配器，阻抗匹配器就仿佛是等離子清洗機(jī)反應(yīng)腔體、電極與等離子發(fā)生器之間的橋梁。那么等離子清洗機(jī)阻抗匹配的工作原理是什么樣的？是如何運(yùn)作的？
       阻抗匹配常見于真空等離子清洗機(jī)設(shè)備上，設(shè)備的反應(yīng)腔體、電極和等離子發(fā)生器統(tǒng)稱為負(fù)載，在帶負(fù)載的直流回路中，外電路的負(fù)載電阻與電源內(nèi)阻相等是負(fù)載匹配一個(gè)必要條件。直流回路的這一Z大功率定理在相應(yīng)的交流回路中也存在。下圖為大家列舉了一個(gè)具有負(fù)載阻抗z的高頻回路。
【普樂斯】等離子清洗機(jī)中一個(gè)具有負(fù)載阻抗z的高頻回路
       設(shè)電源內(nèi)阻抗即輸出阻抗為（a+jb）Ω，為滿足在負(fù)載上Z大的功率輸出，就需要負(fù)載阻抗和高頻發(fā)生器輸出阻抗“共軛匹配”。共軛匹配可以實(shí)現(xiàn)將總阻抗變成純電阻的，即此時(shí)負(fù)載阻抗Z必須為（a-jb)Ω。
       一種典型的高頻匹配網(wǎng)絡(luò)如下圖所示。在等離子清洗機(jī)設(shè)計(jì)中，為控制回路中高頻電流在合理數(shù)值區(qū)間，常會(huì)將高頻發(fā)生器的輸出阻抗設(shè)計(jì)成純電阻的，其阻值一般是50Ω。高頻放電阻抗一般為電容性阻抗，高頻放電阻抗會(huì)因等離子處理設(shè)備中反應(yīng)腔體的放電條件變化而發(fā)生數(shù)值變動(dòng)，因而就需要調(diào)節(jié)匹配網(wǎng)絡(luò)的阻抗與放電阻抗相加合，實(shí)現(xiàn)加合后的模擬負(fù)載阻抗與高頻發(fā)生器輸出阻抗一致，從而實(shí)現(xiàn)匹配。
【普樂斯】等離子清洗機(jī)中一種典型的高頻匹配網(wǎng)絡(luò)
       換句話說，要通過各種放電條件來對(duì)匹配網(wǎng)絡(luò)進(jìn)行調(diào)節(jié)，使模擬負(fù)載也等于50Ω。此外，為了避免匹配網(wǎng)絡(luò)因發(fā)熱而造成的非必要的功率損耗，匹配網(wǎng)絡(luò)的位置擺放也有考究，這是影響等離子清洗機(jī)匹配效果的其中一個(gè)因素，詳細(xì)內(nèi)容普樂斯將在之后文章中再與大家交流。
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