普樂斯對射頻真空等離子表面處理設(shè)備陽極鞘層知識點進(jìn)行補充
文章導(dǎo)讀：在2020年2月1日的文章中，普樂斯向大家介紹了射頻真空等離子表面處理設(shè)備陽極鞘層的部份知識點，還有一些補充信息需要給大家分享：
在2020年2月1日的文章中，普樂斯向大家介紹了射頻真空等離子表面處理設(shè)備陽極鞘層的部份知識點，還有一些補充信息需要給大家分享：
1 射頻真空等離子表面處理設(shè)備空間電荷限制的陽極電流
在陰極鞘層中考慮限制電流量的空間電荷效應(yīng)時，我們假設(shè)只存在一種載流子是允許的，因為那里的電子密度已經(jīng)小到可以忽略不計；但是在陽極鞘中情況就不一樣了，電子密度不一定能夠被忽略。特別是存在陽極二次電子發(fā)射時更不能被忽略，因此無碰撞條件下的Child-Langmuir方程在此是不適用，需要建立適合二種載流子的模型。然而這一類模型的實驗驗證卻是相當(dāng)?shù)乩щy，問題在于鞘電壓和鞘厚均很小，測定起來誤差太大。
2 射頻真空等離子表面處理設(shè)備陽極鞘層的極性
一般情況下，陽極鞘層的極性較之負(fù)輝區(qū)等離子體來說處于低電位，在以上的一些討論中通常也都是這樣假設(shè)的。但實際上也并非總是如此，如果遇下面情況之一陽極的極性便會發(fā)生逆轉(zhuǎn)。
2-1當(dāng)陽極二次電子發(fā)射系數(shù)很大時。
2-2當(dāng)陽極尺寸太小時，陽極鞘中電流形成機(jī)制自身調(diào)適就會發(fā)生極性逆轉(zhuǎn)。當(dāng)陽極面積小到一定程度時，陽極電位達(dá)到與負(fù)輝區(qū)等離子體等電位；這時電子電流密度增大到飽和值。至此，如果陽極面積再減小的話，鞘層極性便會發(fā)生逆轉(zhuǎn)。隨之離子電流減小而凈電子電流進(jìn)一步增大。
3 射頻真空等離子表面處理設(shè)備陽極鞘層的主要作用
在通常情況下，即陽極電位低于負(fù)輝區(qū)的等離子體電位時，可以使陽極發(fā)射的二次電子加速進(jìn)入負(fù)輝區(qū)，同時使從負(fù)輝區(qū)來的離子加速到達(dá)陽極或置于陽極的基片表面。由此可見，雖然陽極鞘層薄，其中不會產(chǎn)生顯著電離，但被鞘電壓加速的二次電子可作為負(fù)輝區(qū)的電子源和能量源；而負(fù)輝區(qū)又是陽極鞘層的離子源。
更多關(guān)于射頻真空等離子表面處理設(shè)備陽極鞘層詳細(xì)內(nèi)容普樂斯陸續(xù)會在之后文章中再與大家進(jìn)行交流。
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