小技巧｜等離子清洗機(jī)氣體選擇有哪些細(xì)節(jié)之處
文章導(dǎo)讀：等離子清洗機(jī)的干式處理是通過(guò)將導(dǎo)電氣體電離產(chǎn)生等離子體，從而對(duì)工件表面進(jìn)行處理，氣體種類不同，其氣體特性也不相同，對(duì)處理的效果也有影響。
在之前分享的“影響等離子表面處理效果的設(shè)備的工藝參數(shù)有哪些?”文章已經(jīng)提到，等離子清洗機(jī)的處理效果是受氣體特性所影響的，感興趣的小伙伴可以點(diǎn)擊進(jìn)行回顧。等離子表面處理是一項(xiàng)非常精細(xì)的處理工藝，部分處理的產(chǎn)品對(duì)表面處理效果要求很高，有些甚至可以用苛求來(lái)形容，因此，每一項(xiàng)工藝參數(shù)都值得反復(fù)推敲，在等離子清洗機(jī)的氣體選擇上，普樂(lè)斯也有一些經(jīng)驗(yàn)可與大家分享。
常用于等離子表面處理的氣體有氮?dú)?、氧氣、氬氣、氫氣以及具有腐蝕性的四氟化碳。以上這些氣體有哪些特性呢？選擇時(shí)有哪些細(xì)節(jié)需要注意呢？
1. 氧氣
氧氣具有較好的活性，氧化反應(yīng)也是我們常見(jiàn)的一種反應(yīng)，電離后形成的氧離子非常適用于聚合物的表面活化和有機(jī)污染物的去除，但因其具有高氧化性，所以是不能處理金屬材料表面的。
2. 氫氣
相信大家對(duì)氫氣也有了解，它是一種易燃易爆的氣體，在等離子表面處理過(guò)程中一般是不能與其他非惰性氣體混用的，此外，氫氣具有還原性屬性，能夠適當(dāng)去除一些金屬的表面氧化層，這一特點(diǎn)適用于精密的半導(dǎo)體和線路板領(lǐng)域。
3. 氮?dú)?/span>
氮的相對(duì)原子質(zhì)量是14，且自身具有較好活性，可實(shí)現(xiàn)清洗、活化、刻蝕的功能，并且在過(guò)程中一定程度防止金屬氧化，因此氮?dú)庠趯?shí)際應(yīng)用中較多。
4. 氬氣
氬氣是常見(jiàn)的惰性氣體，因此使用氬氣進(jìn)行等離子處理，僅發(fā)生物理反應(yīng)，可通過(guò)物理轟擊達(dá)到清潔和表面粗化的效果，處理過(guò)程中不會(huì)氧化基材，在一些精密元器件上使用較多。
5. 四氟化碳
四氟化碳是一種應(yīng)用在等離子處理上典型的腐蝕性氣體，四氟化碳在經(jīng)電離之后的等離子體是含有氫氟酸的，可以對(duì)有機(jī)材料表面刻蝕及有機(jī)物去除，等離子清洗機(jī)在用于晶圓納米級(jí)刻蝕及光刻膠去除、線路板的微孔除膠、太陽(yáng)能電池板制造等方面使用四氟化碳較多。
氣體自身的特性不同，所適用的處理材料和條件也不同，普樂(lè)斯電子9年專注研制等離子清洗機(jī)，等離子表面處理設(shè)備，如果您想要了解更多關(guān)于等離子表面處理的詳細(xì)內(nèi)容或在使用中對(duì)影響參數(shù)有疑問(wèn)，歡迎點(diǎn)擊普樂(lè)斯的在線客服進(jìn)行咨詢，或者直接撥打全國(guó)統(tǒng)一服務(wù)熱線400-816-9009，普樂(lè)斯恭候您的來(lái)電！
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